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三丰Mitutoyo激光全息测微计O542 926外观迷你操作简便重庆成都西安武汉广州上海北京苏州

Laser Hologage(激光全息测微计) 542系列- 0.00001mm分辨率型 日本三丰品牌 MITUTOYO 542-926 线性测微计 三丰的Laser Hologage 是一种高端数显测量系统,采用衍射光束干涉,进行高精度和高重复精度测量。它具有超细衍射光栅,将全息影像记录在刻度上。Laser Hologage 适于测量精度极高的工件,特别适于半导体等行业使用。 特点:

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Laser Hologage(激光全息测微计)

542系列- 0.00001mm分辨率型

日本三丰品牌 MITUTOYO 542-926 线性测微计

三丰的Laser Hologage 是一种高端数显测量系统,采用衍射光束干涉,进行高精度和高重复精度测量。它具有超细衍射光栅,将全息影像记录在刻度上。Laser Hologage 适于测量精度极高的工件,特别适于半导体等行业使用。

特点:

1、由于具有0.00001mm(0.01µm)的极高分辨率适于进行高精度测量,其性能接近激光干涉仪。

2、具有极高的测量稳定性—高防护性设计,适于在恶劣的环境下工作,如温度和气压变化的环境。

3、心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承,移动非常滤波且延长了使用寿命。

4、带有显示装置。

技术参数:

精度:参见性能参数(不包括量化偏差)

分辨率:0.01µm

长度基准:Laser-hologram 测量传感器

最大反应速度:250mm/s

测针:R5mm硬质合金

轴套:Φ15mm

轴承类型:高精度线性滚珠轴承

测力:参见性能参数

输出信号:90度相位差,差动方形波

信号间距:0.25µm

标准附件:

538610:带扳手的测头

选件:

971751:用于在上表面固定的轴套固定装置

971752:用于在下表面固定的轴套固定装置

971753:心轴提升电缆

971750:Laser Hologage支架

性能参数:

测量范围

货号

分辨率

精度

测力**

轴套直径

备注

10mm(.4〞)

542-925*

0.01µm/1µinch

0.1µm

0.55N/0.45N/0.35N

15mm

--

10mm(.4〞)

542-926*

0.01µm/1µinch

0.1µm

0.1N/-/-

15mm

低测力

*为区分交流电源电缆,在货号后加上以下后缀:A适于UL/CSA,D适于CEE,DC适于CCC,E适于BS,K适于EK,无后缀适于JIS/100V。

**量具的方向:心轴向下/水平/向上

尺寸图片:单位(mm)